CEM3000系列國產(chǎn)掃描電子顯微鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
不同于立式電鏡，CEM3000系列國產(chǎn)掃描電子顯微鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。
核心優(yōu)勢
1、緊湊靈活，突破空間限制
（1）臺式設計，體積小巧，輕松擺放在桌面或狹小空間（如手套箱、移動實驗室），節(jié)省實驗室空間。
（2）支持快速移機，一臺設備滿足多場景需求，助力科研效率提升。
2、高性能，納米級分辨率
（1）空間分辨率優(yōu)于4nm（SE），支持高達200,000倍放大，精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
（2）高襯度成像系統(tǒng)，快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號，滿足材料科學、生命科學等領域的需求。
3、抗振防磁，穩(wěn)定無懼挑戰(zhàn)
（1）特殊隔振設計（CEM3000B搭載復合抗振系統(tǒng)），消除環(huán)境振動與電磁干擾，保障高倍成像質(zhì)量。
（2）適用于工業(yè)車間、車載實驗室等復雜環(huán)境，穩(wěn)定可靠。
4、高效便捷，一鍵智能操作
（1）快速抽放氣技術(shù)：低真空模式僅需40秒（CEM3000B），高真空模式快1.5分鐘，大幅縮短等待時間。
（2）自動對焦、消像散、圖像增強功能，一鍵生成高質(zhì)量圖片，降低操作門檻。
5、靈活拓展，滿足多樣需求
（1）可選配低真空系統(tǒng)（5~100Pa），兼容導電/非導電樣品觀測。
（2）CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀，搭配顆粒統(tǒng)計、孔隙率測量等定制功能，滿足多領域分析需求。
應用場景
材料科學：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢：錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環(huán)境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
部分技術(shù)指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側(cè)視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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