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高純氣體過濾器技術(shù)

高純氣體過濾濾芯 高純氣體過濾器 高純氣體過濾原理

氣體工業(yè)名詞，是依據(jù)碰撞，擴(kuò)散和截獲機(jī)理將氣體中粒子過濾掉的裝置。集成電路發(fā)展到兆位級后，對超凈提出了更嚴(yán)格要求。SEMI標(biāo)準(zhǔn)對10011級以管道供給的氮和氬氣中規(guī)定≥011Lm粒子≤014個(gè)L；16MDRAM用氣中>011Lm的粒子<1個(gè)L。在超高純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動(dòng)或氣流沖擊所造成的脫落粒子，應(yīng)在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。粒子過濾器的選型及規(guī)格視氣體控制規(guī)范而定。過濾器殼體一般采用316不銹鋼，濾芯有PTFE微孔膜折疊濾芯、燒結(jié)的多孔金屬濾芯等